2015年（nián）實現“可吞服生（shēng）物傳感器”技術

在廣島大學主（zhǔ）辦的“半（bàn）導體與生物融合集成技術研討會”現場。來自企業和研（yán）究機構的約150人參加了該研討會。  

　　廣島大（dà）學教授尖（jiān）端物質科學研究係半導體集成科學係岩田穆和廣島大學教（jiāo）授研究（jiū）生院尖（jiān）端物質（zhì）科學研究係半導體集成科學（xué）係主任吉川公麿。岩田是“半導體與生物融合集成（chéng）技術構築項目”的項目主管。吉川（chuān）是廣島大學2008年5月創立的“納米（mǐ）元件（jiàn）與生物融合科學（xué）研究所”的所（suǒ）長。  

　　此次項目力爭開發的“可吞服生物傳感（gǎn）器”。  

　　生物傳感器中采用了納米線FET

　　廣島（dǎo）大學在6月27日召（zhào）開（kāi）的研討會上公布了其與爾必達內存、生體分子（zǐ）計（jì）測研（yán）究所及佐竹三公司共同推進的“半導體與生物融合集成技術項目（mù）”的研究成果。該項目的第一個（gè）突破口——2015年之前實現“可吞服生物傳感器”的關鍵技術“已經齊備”主（zhǔ）管該項目的廣島大學（xué）教授尖端物質科學研究科半導體集成科學係岩田穆說。  

　　三維集成生物傳感（gǎn）器、存儲器和無線電路（lù）
  
　　該項目（mù）的目標是融合半導體技術和生物技術的經驗，研製可（kě）高速診（zhěn）斷多項活體信息的生物傳（chuán）感係統等高附加（jiā）值（zhí）器件。2006年度在文部（bù）科（kē）學省的支（zhī）持下啟動，08年度為中期評價年度。  

　　該項目要開發的“可（kě）吞服生（shēng）物傳感器”，是可以在消（xiāo）化器官內測量蛋白質等活體信息的膠囊狀生物傳感器。三維集成有生物傳感器、存儲器和無線電路，可以檢（jiǎn）測、保存（cún）多項活體信息，並可以進行無線通信。廣島大（dà）學等此（cǐ）次展示了用來（lái）實現該係統的傳感器、無線（xiàn）電路及三維封裝（zhuāng）技（jì）術等研究成果。  

　　采用納（nà）米線FET和（hé）4F2DRAM  

　　其中，廣（guǎng）島（dǎo）大學等作為“08年度任務”（岩田（tián））進行的開發（fā）項目有兩個：（1）為利用半導體電路的（de）生物傳感（gǎn）器開發的矽/有機材料界麵控製技術；（2）為高集成存儲器進行的新材料及新原理探索。其中，（1）是（shì）以廣島大學半導體集成元件部門（mén）和生物醫療部門為（wéi）開發主體，（2）則以廣島大學半導體集成元件係部（bù）門和爾必達內存為開發主體。   

    在（1）中，開發出了使矽和有機材料穩定結合（hé）的蛋白質（zhì）。並使用（yòng）這種蛋白質，試製出利用半導體電路的（de）生物傳（chuán）感器，確認了該生物傳感器的基本動（dòng）作。比如，證實了在矽納米（mǐ）線——FET的納米線上固定這種蛋白質時，隨有機材料的結合可（kě）以使電流發生變化，另外還（hái）證實，使用基於量子點的（de）浮遊柵極型MOS FET，可以檢測出微弱熒光。 
   
    在（zài）（2）中，開發出了單元麵積隻（zhī）有4F2（F為設計規則）的DRAM的（de）關鍵技（jì）術。除試製出使用縱向晶體管的單元（yuán）外，還對（duì）電容器用高介電率（high-k）膜進行了評測。在high-k膜方（fāng）麵，有（yǒu）希望的候選對象“已（yǐ）經鎖（suǒ）定”（廣（guǎng）島大學教授研究生院尖端物（wù）質科學研究科（kē）半導體集成科學專攻吉川公麿）。